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Temperierlösungen in der Halbleiterindustrie

19.04.2022

In jedem Smartphone steckt heutzutage millionenfach mehr Rechenleistung, als der NASA bei den Apollo-Missionen zur Verfügung stand. Zu verdanken haben wir dies der Halbleiterindustrie, die immer mehr Leistung auf immer kleinerem Raum unterbringt und dabei an die Grenzen des technisch und physikalisch Machbaren geht. Zum Einsatz kommen hochpräzise Verfahren, mit deren Hilfe komplexe Schaltkreise aufgebaut werden, die nur bei starker Vergrößerung überhaupt erkennbar sind. In der Halbleiterindustrie bleibt im wahrsten Sinn nur sehr wenig Platz für Fehler. Zahlreiche Verfahrensschritte sind dabei an eine absolut präzise Temperierung gebunden.

Die Herstellung von Leitungsbahnen, die ein menschliches Haar wie ein Bollwerk erscheinen lassen, erfordert absolute Präzision im Nanometerbereich. Zahlreiche Prozesse in der Halbleiterproduktion müssen dafür exakt temperiert werden. In schier unendlich vielen Einzelschritten werden hauchdünne Schichten aufgetragen, partiell geblockt und die ungeblockten Teile mit absoluter Präzision wieder abgetragen. Um die Ätzrate bei nasschemischen Verfahren konstant und berechenbar zu halten, müssen die Ätzbäder in einem optimalen Temperaturbereich gehalten werden. Dies erfordert den Einsatz von absolut präzisen und zuverlässigen Temperierlösungen, die ideal auf den jeweiligen Einsatzbereich geeicht sind.

Ein perfekt ausbalanciertes Temperiersystem verbessert nicht nur die Produktionsergebnisse, sondern erhöht auch die Prozesssicherheit und senkt außerdem Produktionszeit und -kosten sowie den Wartungsaufwand. Unser erfahrenes und eingespieltes Team von Spezialisten im Bereich der Temperierung von Verfahren der Halbleiterindustrie steht Ihnen gerne für Fragen zur Verfügung. Natürlich passen wir unsere Temperierlösungen bei Bedarf an Ihre individuellen Bedürfnisse an.