SC5000w SC SemiChiller

für höchste Anforderungen im industriellen Einsatz

Die SemiChill-Reihe bietet leistungsstarke Umlaufkühler für Anwendungen speziell in der Halbleiterindustrie. Fünf Modelle mit Kühlleistungen von 2.5 bis 10 kW (luft- und wassergekühlt) stehen zur Auswahl. Der Arbeitstemperaturbereich reicht von +5 bis +35 °C (optional -20 bis +130°C).

Verschiedene Pumpen und Elektronikmodule sind wählbar. Damit werden einfachste bis höchste Anforderungen abgedeckt, wie z.B. Durchfluss- und Leitfähigkeitsmessung, externe Regelung oder Integration mittels Analogsignal, RS232, Devicenet oder Ethernet. Zubehör und Optionen wie z.B. DI-Filter, Microfilter, USB-Adapter etc. runden das Programm ab.

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Daten bei Netzspannung / Frequenz:
400V/3PNPE/50Hz (Stecker 63A CEE)
SC5000w
Bestell-Nr. 9 5XX 051.07
Arbeitstemperaturbereich -20 ... +130 °C
Temperaturkonstanz ±0.1 °C
Kälteleistung
(Medium: Ethanol)
°C
kW
20 0 -10
5 2.5 1.2
Kälteleistung
(Medium: Ethanol)
°C 20 0 -10
kW 5 2.5 1.2
Füllvolumen 43 ... 60 l
Abmessungen
(B × T × H)
59 x 67 x 112 cm
SC5000w
Bestell-Nr. 9 5XX 051.16
Arbeitstemperaturbereich -20 ... +130 °C
Temperaturkonstanz ±0.1 °C
Kälteleistung
(Medium: Ethanol)
°C
kW
20 0 -10
5 2.5 1.2
Kälteleistung
(Medium: Ethanol)
°C 20 0 -10
kW 5 2.5 1.2
Füllvolumen 43 ... 60 l
Abmessungen
(B × T × H)
59 x 67 x 112 cm
SC5000w
Bestell-Nr. 9 5XX 051.16
Arbeitstemperaturbereich -20 ... +130 °C
Temperaturkonstanz ±0.1 °C
Kälteleistung
(Medium: Ethanol)
°C
kW
20 0 -10
5 2.5 1.2
Kälteleistung
(Medium: Ethanol)
°C 20 0 -10
kW 5 2.5 1.2
Füllvolumen 43 ... 60 l
Abmessungen
(B × T × H)
59 x 67 x 112 cm

Produktmerkmale

  • Für höchste Anforderungen in der Halbleiter-Industrie und in "rauhen" Umgebungen
  • Keine seitlichen Lüftungsschlitze: Geräte können nebeneinander platziert werden
  • Integrierte Griffe und Laufrollen zur Standortveränderung
  • Industrie-Netzschalter und Not-Aus
  • Förderdruckanzeige
  • Einfüllöffnung vorne
  • Geringer Geräuschpegel
  • Präzise PID-Temperaturregelung
  • ATC3 3-Punkt-Kalibrierung
  • Warn- und Sicherheitsfunktionen
  • Modularer Aufbau mit frei wählbaren Optionen
Abmessungen und Volumen
Abmessungen
(B × T × H)
59 x 67 x 112 cm
Füllvolumen 43 ... 60 l
Gewicht 153 kg
Pumpenanschlußgewinde NTP¾"  Aussengewinde
Kühlwasseranschluss G¾ in
Schlaucholiven Innendurchmesser ¾"
Temperaturwerte
Arbeitstemperaturbereich -20 ... +130 °C
Temperaturkonstanz ±0.1 °C
zulässige Umgebungstemp. 5 ... 40 °C
Daten bei Netzspannung / Frequenz:
400V/3PNPE/50Hz (Stecker 63A CEE)
Leistungswerte
Heizleistung abhängig von der Option
Kälteleistung
(Medium: Ethanol)
°C
kW
20 0 -10
5 2.5 1.2
Kälteleistung
(Medium: Ethanol)
°C 20 0 -10
kW 5 2.5 1.2
Pumpenleistung Durchflussrate abhängig von der Option
Pumpenleistung Förderdruck abhängig von der Option
Viskosität max. 30 cST
Kältemittel Stufe 1
Kältemittel R452A
Globales Erwärmungspotential für R452A 2140
Füllvolumen 1520 g
Kohlendioxid äquivalent 3.253 t
Leistungswerte
Heizleistung abhängig von der Option
Kälteleistung
(Medium: Ethanol)
°C
kW
20 0 -10
5 2.5 1.2
Kälteleistung
(Medium: Ethanol)
°C 20 0 -10
kW 5 2.5 1.2
Pumpenleistung Durchflussrate abhängig von der Option
Pumpenleistung Förderdruck abhängig von der Option
Viskosität max. 30 cST
Kältemittel Stufe 1
Kältemittel R452A
Globales Erwärmungspotential für R452A 2140
Füllvolumen 1520 g
Kohlendioxid äquivalent 3.253 t
Leistungswerte
Heizleistung abhängig von der Option
Kälteleistung
(Medium: Ethanol)
°C
kW
20 0 -10
5 2.5 1.2
Kälteleistung
(Medium: Ethanol)
°C 20 0 -10
kW 5 2.5 1.2
Pumpenleistung Durchflussrate abhängig von der Option
Pumpenleistung Förderdruck abhängig von der Option
Viskosität max. 30 cST
Kältemittel Stufe 1
Kältemittel R452A
Globales Erwärmungspotential für R452A 2140
Füllvolumen 1520 g
Kohlendioxid äquivalent 3.253 t
Bad
Badgefäß Edelstahl
Kühlung
Kühlung Kältemaschine 1-stufig Wasser
Kühlwasserdruck max. 6 bar
Kühlwasser Differenzdruck 3.5 ... 6 bar
Kühlwassertemperatur max. 20 °C
Kühlwasserverbrauch 10 l/min
Weitere
Schalldruckpegel 69 dbA
Klasseneinteilung
nach DIN12876-1
Klassifikation III (FL)
IP Klassifizierung
nach IEC 60529
IP 21
Pumpentyp Tauchpumpe
Elektronik
Temperatureinstellung Tastenfeld
Verfügbare Spannungsversionen
400V/3PNPE/50Hz Stecker 63A CEE 95XX051.07
208-230V/3PPE/60Hz ohne Stecker 95XX051.16

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Vorteile

  • ACC
    100% Kälteleistung
    ‘Active Cooling Control’ zur vollen Ausnutzung der verfügbaren Kälteleistung über den gesamten Arbeitstemperaturbereich, schnelles Abkühlen auch bei höheren Temperaturen
  • TCF
    Prozess. Unter Kontrolle.
    Volle Kontrolle der Regeldynamik, Zugriff auf alle wichtigen Regelparameter zur individuellen Prozessoptimierung.
  • ICC
    Intelligente Temperaturregelung.
    Intelligent Cascade Control – automatische und selbstoptimierende Anpassung der PID-Regelparameter mit externer Konstanz von +/- 0,05 °C.
  • PID3
    Für höhere Ansprüche
    PID Temperaturregelung mit Störgrößenausgleich und einstellbaren Parametern, speziell bei Externbetrieb verbesserte Temperaturkonstanz erreichbar, Konstanz ±0.01 °C intern, <±0.1 °C extern.